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做到極致認真
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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無氧烤箱是如何檢測氧濃度《油價下調》
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2020-04-12
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無氧烤箱中檢測氧濃度的方法
在以Y2O3穩定的ZrO2陶瓷(YSZ)中，當兩側附著多孔Pt電極的YSZ固體電介質的兩側存在氧濃度差時，氧離子就從氧濃度大的一側(P"O2)向濃度小的一側(P'O2)遷移，其步驟是：在高氧濃側，一個氧原子得到兩個電子形成氧離子(O-)，此處的Pt電極帶正電荷為正極。同時，O-失去電子(e-)形成氧原子(O)，并進入低氧(P'O2)濃側Pt層與YSZ界面，此處Pt電極帶負電荷為負極，因此，在兩電極之間產生電動勢(E)，形成濃差電池。
名稱 | 用途 |
① 液晶顯示屏 | 顯示測量數據、顯示設定參數 |
② 操作鍵盤 | 操作和設置各項參數 |
③ 流量計 | 指示流入儀器的被測氣體流量 |
④ 針型閥 | 調節流入儀器的被測氣體流量 |
⑤Gas inlet 被測氣體入口 | 連接被測氣體到儀器內 |
⑥Gas outlet被測氣體出口 | 連接被測氣體到排放總管 |
⑦保險絲座 | 連接儀器電器保險絲2A |
⑧RS-232 輸出端子 | 連接數字信號輸出、計算機、打印機 |
⑨接線端子 | 連接儀器電源、模擬信號輸出等 |
⑩風扇 | 提高散熱效率 |
精密無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環境，特別適合半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業。
溫度范圍：RT+50～450/550℃；
內箱尺寸：450×450×450mm（多尺寸定制）；
控溫方式：可曲線升降溫
氧含量：≤20ppm
控溫穩定度：±0.5℃；
溫度均勻度：≤±1.5%℃；
