就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
-
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
-
HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
新 聞 動 態
NEWS
選擇HMDS烘箱注意事項
來源:
|
作者:雋思半導體設備部
|
發布時間: 2020-04-13
|
1067 次瀏覽
|
分享到:
選擇HMDS烘箱的容積
內腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據腔體容積，選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。
◆ 全無油泵，不會污染真空系統
◆ 采用獨立馬達與軸承的密封設計
◆ 體積小巧
◆ 具有更低的極限壓強
◆ 無任何可能造成災害性系統故障的機械部件
◆ 低噪聲，低振動
3.HMDS烘箱輔助功能選擇：
◆HMDS藥液泄漏報警提示功能
◆HMDS低液位報警提示功能
◆工藝數據記錄功能
◆藥液管道預熱功能
◆程序鎖定保護等功能
HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
