就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
做到極致認真
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產 品 中 心
products
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用途 |
用于IC,晶圓等電子、半導體、醫療行業高潔凈度烘烤制程工藝 |
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溫度范圍 |
室溫＋10℃～250℃ |
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溫度波動度 |
恒溫溫度波動±0.5℃ |
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溫度均勻度 |
計算方法:設定150℃,6點測溫,(max-min)/min≤3.5% |
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工作室尺寸（mm） |
450（深）*450（寬）*600（高）（可自定） |
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潔凈度（class） |
Class100 |
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氣體過濾 |
配有氣體過濾裝置，保證腔體內潔凈度為100級 |
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隔板要求 |
每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
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箱體外壁材料 |
冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304） |
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箱體內壁材料 |
為不銹鋼板內壁氬弧焊（SUS316或SUS304） |
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保溫材料 |
優質超細納米玻璃棉 |
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氮氣接口 |
能將箱內空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行 |
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控制方式 |
人機界面+PLC控制 |
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氮氣流量 |
0.3~0.5M3/H(可調，可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監控記錄曲線） |
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超溫保護 |
采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時，超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調 |
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計時方式 |
溫度達到制程設定值后開始計時. |
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排風口 |
直徑50mm的排風口,且安裝有調節風閥 |
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電氣安全保護 |
風機過載保護、加熱系統超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護. |
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MES軟件 |
可連接MES系統 |
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作業時掃碼可實現自動調取所需作業程序,作業員只需確認是否正確 |
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自動記錄作業累計次數，作業批號,作業人員,作業起止日期及時間,作業溫度曲線,作業條件,可自動生成Excel報表 |
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有權限操作員需掃碼后才可操作此設備,且自動記錄作業人員 |
