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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
  • HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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OAP烘箱,OAP處理烘箱
    發布時間: 2022-11-17 16:39    

OAP烘箱,OAP處理烘箱的工藝

  光刻的作用是把掩模版上的各形轉換成晶圓十的器件結構,它對集成電路圖形結構的形成,如各層薄膜的各形及摻雜區域等,均起著決定性的作用。光刻的基本流程中第一步,前處理就是需要將基片親水性改為疏水性,即OAP(HMDS預處理)工藝。

OAP烘箱,OAP處理烘箱簡介

  OAP處理烘箱,也稱為HMDS烘箱、HMDS預處理系統。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜進行表面處理,它起到提高粘附力的作用,在硅片成底膜操作后盡快涂膠。OAP烘箱是采用氣相成底膜的方式來完成HMDS的涂覆工藝,優點是,整個工藝在密閉的環境中,外界沒有與硅片接觸減少了來自液體HMDS顆粒沾污的可能,HMDS的消耗量也小。

OAP烘箱指標

HMDS藥液泄漏報警提示功能

HMDS低液位報警提示功能

工藝數據記錄功能

HMDS管道預熱功能

程序鎖定保護等功能

內腔尺寸:450×450×450(mm)(可定制)

材質:外箱采用優質冷軋板噴塑,內箱采用 316L 醫用級不銹鋼

溫度范圍:RT+50-200℃

溫度波動度:≤±0.5

真空度:≤1torr

HMDS控制:可控制HMDS 藥液添加量

真空泵:無油渦旋真空泵



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