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烤膠機(jī)  智能型烘膠臺 高精度熱板簡介

  光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。高精密程控烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時(shí)和接近式加熱的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)智能化編程烤膠控制。

  烤膠機(jī)升溫速度快，由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制，長壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，光刻膠快速固化,制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

烤膠機(jī)  智能型烘膠臺 高精度熱板性能：

加熱尺寸：220*220mm,450*550mm/可定制；

溫度范圍：RT～300/400/500°C ；

溫度精度：0.1°C；

溫度均勻性：≤±1℃；

電動頂針調(diào)節(jié)高度: 0～30mm；

限位裝置：配有4根限位針；

加熱臺表面：耐腐蝕硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；

真空吸附：樣品接觸加熱臺后真空吸附，可設(shè)置延時(shí)吸附；

加熱臺外殼：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；

控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，實(shí)現(xiàn)在指定時(shí)間內(nèi)自動升降，

可以定時(shí)取片；

電壓：220V / 50HZ；

功率：2500W；